ネオン中の水素・ヘリウム等不純物の測定
背景
クリプトン（Kr）、キセノン（Xe）、ネオン（Ne）などのレアガスは、大気中にごくわずかしか存在しません。これらのレアガスを液化空気の分別蒸留によって抽出するには、非常に大きな空気分離装置（ASU）でなければ採算が取れません。
空気中のネオンの割合はわずか0.0018 Vol%です。ネオンは照明産業や半導体産業で必要とされています。 後者の用途では、解像度 7nm の半導体リソグラフィのレーザー用バッファガスとして、高純度のネオンが必要です。
解決方法
水素とヘリウムの汚染は、V&F社の水素･ヘリウム用質量分析計 HSense を使用して、ネオン圧力ガス容器 （ボトルまたは貯蔵タンク）からオンラインで測定することができます。
検出下限1ppmの高感度分析により、≧ 99.999 Vol% 純度のネオンを検査することができます。
利点
ネオン中の水素やヘリウムの汚染は、HSenseで素早く測定することができます。また、セクターフィールド質量分析計を使用しているため、測定の信頼性は非常に高いです。 その結果、1ppm未満の微量水素とヘリウムを検出することができます。測定結果は数分以内に得られます。キャリブレーションと測定は、必要に応じて完全自動で行われます。分析証明書（COA）は、個別に定義されたテンプレートに基づいて簡単に発行することができます。
ハイライト
- H2やHeの不純物を高感度に検出
- 高速で信頼性の高い測定装置
- 時間短縮とコスト効率